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12英寸碳化硅襯底實現激光剝離
【12英寸碳化硅襯底實現激光剝離】記者27日從西湖大學獲悉，由該校孵化的西湖儀器（杭州）技術有限公司成功開發出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
更新時間：2025-03-28 09:35:42
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